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产品名称: 光线温度传感器Luxtron
产品型号: Luxtron m920
产品展商: Advanced Energy
产品文档: 无相关文档
简单介绍
用于 OEM -100oC 至 330oC 的光纤温度传感系统
Advanced Energy 的 Luxtron 四通道 m924 和双通道 m922 半导体模块经过精心设计，可对蚀刻器和静电吸盘、腔室和其他设备等晶圆制造设备进行温度监测。
混合和匹配组件
可使用当前半导体 Luxtron 品牌 Fluoroptic 探头和光纤延长线
内置校准表可匹配定制 AE 探头，实现高精度测量
*大可实现精度为 ±0.05°C（视探头而定)
光线温度传感器Luxtron
的详细介绍
完整的 Luxtron® m920 系列 OEM 解决方案采用电子?？樽榧圃?，配备两个主板和探头。主板包含光纤温度传感通道、数字输出（RS232 ASCII 和 RS485 Modbus）和电源连接。模拟输出板安装在主板上方，提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 输出?；箍梢匝≡窠鹗敉饪?。
m920 系列系统采用 Fluoroptic® 技术。m920 系列主板可对来自 Fluoroptic 探头的测量信号进行调制，然后将校准的温度报告给 OEM 控制系统。
优点
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为不同的蚀刻和晶圆制造过程实现高精度和高温范围
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以快速采样率监测更快的斜坡条件
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使用这种低噪声解决方案获得更**的温度测量结果
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充分利用产品的出色可靠性，降低故障率
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获得支持 在全球范围内支持定制集成和探头设计
特点
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双通道或四通道，借助 RS485 Modbus 可扩展至多达 64 通道
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单 PCB 设计，具有模拟输出和金属外壳等选项
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高电压、射频、等离子体和微波等不会对探头产生电磁干扰
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可向后兼容 Advanced Energy 弹簧加载和 Accudisc 探头
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可为半导体应用提供定制探头
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